标签：LED芯片制造工艺流程是什么

2023-11-21licai阅读(1)赞(0)

LED芯片制造工艺流程是什么？ 外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2沉积→窗口图形光刻→SiO